오늘뉴스 – SK하이닉스 “EUV 공정 난제, 새로운 대안으로 해결해 나갈 것”

SK하이닉스가 첨단 극자외선(EUV) 공정 난제를 해결하기 위한 다양한 솔루션을 제시했다. 생산성 문제를 해결할 수 있는 위상차마스크(PSM), EUV 마스크 덮개 역할을 하는 펠리클, 좁은 회로를 반듯하고 균일하게 찍…

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출처 : 전자신문





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